- [鑫藍動態]二氯硅烷分裝和真空系統廢氣處理工藝[ 2025-05-28 00:00 ]
- 二氯硅烷（SiH?Cl?）分裝及真空系統廢氣處理工藝需結合其化學特性（易燃、有毒、遇水水解）和工藝安全要求，設計分裝流程與廢氣凈化方案。以下是分步說明： 一、二氯硅烷分裝工藝 系統設計原則 密閉性：全程采用雙機械密封、真空夾套管道，避免泄漏。 惰性化：分裝前用高純氮氣（N?）吹掃系統，確保氧含量<1ppm，防止與二氯硅烷反應。 壓力控制：通過減壓閥和背壓閥維持分裝壓力≤0.
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